PECVD管式爐爐體及爐膛結(jié)構(gòu)

PECVD管式爐設(shè)計(jì)和采用先進(jìn)的技術(shù)是爐體外觀(guān)新穎、結(jié)構(gòu)合理。外殼采用國(guó)標(biāo)鋼材，其外殼噴塑具有耐溫、耐久、耐氧化、耐酸、耐緘等優(yōu)點(diǎn)；精心搭配顏色是產(chǎn)品美觀(guān)大方和耐用！爐膛材料全部采用進(jìn)口摩根纖維制作而成，爐膛是幾塊耐火纖維塊拼裝而成，大大避免了急冷急熱裂縫的現(xiàn)象管式電爐發(fā)熱元件選用。

 

硅鉬棒（分布在爐膛的左右）

硅鉬棒電熱元件是一種以硅化鉬為基礎(chǔ)的電阻發(fā)熱元件。燒結(jié)的硅化鉬制品在氧化氣氛下加熱到高溫，其表面生成一層致密的石英玻璃膜，它可保持制品不在氧化。因此硅鉬棒元件具有*的高溫抗氧化性。在氧化氣氛下高使用溫度為1750℃。硅鉬棒元件的電阻不隨使用時(shí)間的長(zhǎng)短而改變（電阻隨溫度的升高而增大），也就是不老化，因此新舊元件可以混合使用。硅鉬棒元件的機(jī)械性制和其他陶瓷制品一樣，在常溫下屬于脆性材料容易斷裂，但使用得當(dāng)和安裝合理是可以避免的。

 

PECVD管式爐硅碳棒（分布在爐膛的左右或者四周）

碳棒是選用綠化碳化硅材料為主要原料，經(jīng)輕加工制呸、高溫硅化、在結(jié)晶而成的棒狀的非金屬高溫電熱元件。該元件與金屬電熱元件相比，具有使用溫度高、抗氧化、耐腐蝕、壽命長(zhǎng)、變形微、安裝維修方便等優(yōu)點(diǎn)。硅碳棒具有較大的比電阻，在空氣中加熱，發(fā)熱部表面溫度可以達(dá)到1450℃；從室溫到800℃為負(fù)值，800℃以上為正值特性曲線(xiàn)。硅碳棒具有良好的化學(xué)穩(wěn)定性，酸對(duì)其無(wú)作用，但堿和堿土金屬氧化物在一定的溫度條件下對(duì)其有侵蝕作用。

 

高溫下，水蒸氣、氫氣、鹵素、硫等對(duì)其也有氧化和侵蝕作用。為爐溫和棒承受負(fù)荷均勻，安裝前必須進(jìn)行配阻，保持電阻一致±10%；電爐長(zhǎng)期使用過(guò)程中，個(gè)別棒由于其它原因而損壞需要更換時(shí)，要根據(jù)當(dāng)時(shí)阻值的增長(zhǎng)情況，選補(bǔ)阻值適宜的棒，不可任取新棒更換。若棒損壞的較多或阻值增長(zhǎng)過(guò)大，無(wú)法達(dá)到達(dá)到所需的爐溫時(shí)更換成新棒。換下來(lái)的棒重新測(cè)量其電阻值。